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光照射裝置
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點(diǎn)光源曝光
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超高壓短弧汞燈
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UV光洗凈
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UV曝光裝置
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uv固化裝置
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紫外可見(jiàn)光光度計(jì)
日本MIKASA旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)中國(guó)代理
日本MIKASA MS-B100旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)產(chǎn)品特點(diǎn)介紹：
■采用AC伺服電動(dòng)機(jī)
1. 無(wú)刷式，不會(huì)造成無(wú)塵室污染。
2. 減少電動(dòng)機(jī)發(fā)熱.也減少因連續(xù)使用時(shí)的溫度上升造成對(duì)膜厚匡 現(xiàn)性的影響。
3. 電力消費(fèi)低，減低環(huán)境的負(fù)擔(dān)。
■擴(kuò)張程序功能
1.*多有100階段程序、可記憶10種樓式，更容易使用?
■所有機(jī)型皆標(biāo)準(zhǔn)配備數(shù)宇式真空計(jì)
■方形基板等可設(shè)定停止時(shí)位置.超方便
■**裝置機(jī)構(gòu)（真空壓及蓋子）
1.由于薄膜或晶圓容易破裂，而降低吸附壓力時(shí).可以變更**裝 罟機(jī)構(gòu)（真空）的稼動(dòng)壓力。
日本MIKASA MS-B200旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)產(chǎn)品特點(diǎn)介紹：
功能
■采用AC伺服電動(dòng)機(jī)
1. 無(wú)刷式，不會(huì)造成無(wú)塵室污染。
2. 減少電動(dòng)機(jī)發(fā)熱，也減少因連續(xù)使用時(shí)的溫度上升造成對(duì)膜厚再現(xiàn)性的彩購(gòu)。
3. 電力消費(fèi)低，減低環(huán)境的負(fù)擔(dān)。
■擴(kuò)張程序功能
1.*多有100階段程序、可記憶10種模式，更容易使用。
■所有機(jī)型皆標(biāo)準(zhǔn)配備數(shù)宇式真空計(jì)
■方形基板等可設(shè)定停止時(shí)位置，超方便
■**裝置機(jī)構(gòu)（真空壓及蓋子）
1.由于薄膜或晶圓容易破裂，而降低吸附壓力時(shí)，可以變更**裝置機(jī)構(gòu)（真空）的稼動(dòng)壓力。
日本MIKASA MS-B200（密閉式）旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)產(chǎn)品特點(diǎn)介紹：
■可減低因旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的氣流不穩(wěn).均勻涂膜
■ EB光刻劑涂布效果佳
■低沸點(diǎn)溶劑涂布效果佳
■可減低光刻劑的使用量
日本MIKASA MS-B300旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)產(chǎn)品特點(diǎn)介紹：
日本MIKASA MS-B300（密閉式）旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)產(chǎn)品特點(diǎn)介紹：
日本MIKASA 標(biāo)準(zhǔn)滴下設(shè)備（氣動(dòng)式）特點(diǎn)介紹：
日本MIKASA 標(biāo)準(zhǔn)滴下設(shè)備（直立式）特點(diǎn)介紹：
