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日本HORIBA堀場/ 自動化薄膜測量工具/一鍵式全自動快速橢偏儀/Auto SE

日期：2025-11-01 11:28

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摘要：日本HORIBA堀場生產和銷售汽車排放測量系統、環境測量儀器、種類齊全的科學分析儀、體外診斷分析儀和半導體行業使用的測量設備等。HORIBA還生產和銷售外圍測量與分析設備。此外，公司還可為實驗室等機構提供用于研發、生產和其他應用的測量與分析設備

日本HORIBA堀場橢圓偏振光譜儀i_Product_2065323049.html?_v=1690560008

薄膜表征的有效技術
橢圓偏振光譜是一種表面敏感、非破壞性、非侵入性的光學技術，廣泛應用于薄層和表面特征。它基于線偏振光經過薄膜樣品反射后偏振狀態發生的改變，通過模型擬合獲得厚度以及光學常數等。根據薄膜材料的不同，可測量的厚度從幾個?到幾十微米。橢圓偏振光譜是一種很好的多層膜測量技術。
橢圓偏振光譜儀可以表征薄膜的一系列特性，如膜厚、光學特性(n,k)、光學帶隙、界面和粗糙度厚度，薄膜組成，膜層均一性，等等。
橢圓偏振光譜適合分析的材料包括半導體、電介質、聚合物、有機物和金屬。也可用于研究固-液或液-液界面。
HORIBA橢圓偏振光譜儀采用新型高頻偏振調制技術，測試過程中無任何機械旋轉。與傳統橢偏儀相比，更快的測試速度、更寬的測量范圍以及更高的表征精度。